GF40 热式质量流量计和控制器的特点

使用一台设备应对多种气体相当于实现了工艺灵活性和生产效率大化。采用布鲁克斯仪器独 MultiFlo™ 技术的 GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设施。该产品与的流量测量和控制性能相结合，能够将工艺灵活性提升至新高度。

特点

• 可编程多气体/多量程功能

• 气体数据库包含数千种天然气体测定结果，可用于建立修正函数

• 流量响应时间不足 1 秒，精度可达目标应用设定值的 1%

• 非常适用于各种气体

• 快速响应，哈氏合金传感器

• 拥有独立于工具通信并可轻松接入的诊断服务端口

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优势

• 技术能够在不拆除管路中 MFC 的条件下设定新气体和满量程，从而最大限度延长运行时间

• 程功能简单、易用；60 s 内即可完成新气体的选择操作

• 可大幅降低设备商和大型终端用户的流量控制器库存

• 得益于基于国际标准的高级计量系统和校准技术，产品拥有出色的工艺气体测量精度

• 耐腐蚀传感器拥有的长期稳定性，可确保良率和产能大化

• 对用户开放的服务端口简化了故障排除和诊断操作

• 各种橡胶密封件为各种应用提供了经济实惠的性能灵活性

• 多协议通信接口可集成至现有系统

应用

• 太阳能电池化学气相沉积

• 生命科学实验室

• 真空处理

• 纳米技术/MEMS 制造

• 等离子体、玻璃和卷绕镀膜系统

• 非常适用于管汇系统/气体输送系统