膜厚监测仪

• 本机可与计算机连接。

• 显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM  

• 控制输出的百分比等工作状态。

• 通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。

• 具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

• 电源：DC   5V（±10%），电流400mA

• 频率分辨率：±0.03Hz

• 膜厚分辨率：0.0136Å（铝）

• 膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度

• 测量速度：100ms-1s/次，可设置

• 测量范围：500000Å（铝）

• 标准传感器晶体：6MHz

• 计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无）

• 模拟输出：8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出）

• 工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠

• 外形尺寸：90mm×50mm×18mm

• 输入电源：AC 220V±10%

• 输出电源：DC   5V  3A

• 显示器：12×2数码管与LED

• 通讯端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8位，停止位：1位 　，奇偶校验：无）

• 外形尺寸：182mm×65mm×160mm

• 适用晶片频率：6MHz

• 适用晶片尺寸：Φ14mm

• 安装法兰：CF35

• 冷却水管：Φ3mm，长度300mm、500mm、1000mm

• 冷却水压：<>

• 气动挡板路管：Φ3mm

• 压缩空气压力：

• 烘烤温度：通水状态<><>

• 电气接口：BCN插座

1EQ-TM106-1监测组件1个2EQ-TM106-2显示仪1台3EQ-TM106-3探头1个

一年质保期，终身维护