天津市计量院长度计量技术研究部新建微纳米检测领域社会公用计量标准

　　近日，天津市计量院长度计量技术研究部新建的“扫描电子显微镜校准装置”社会公用计量标准顺利通过市市场监管委考核。标准器配置一维栅格、二维栅格，已建立扫描电子显微镜(SEM)校准装置计量标准，测量范围为(100～2000)nm；配置的台阶高度样板，测量范围为(20nm～20μm)，可提供扫描探针显微镜(SPM)、原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)、台阶仪等仪器的校准服务；配置的6种能谱元素标样，可提供能谱仪器的测试服务。该项社会公用计量标准的建立对提升天津地区微纳米测试领域校准能力具有重要意义，填补了地区微纳米测试领域的空白。
 

(图片来源：天津市计量院)
 

　　目前，纳米科学技术已经成为全球研究的热点领域之一，无论在基础前沿研究还是在高新产业应用中均具有重要意义。扫描电子显微镜利用聚焦的电子束在样品表面逐点扫描，电子与样品作用产生二次电子信号以及背散射电子信号，由此获得表面形貌图像，可以达到纳米级的分辨力。市计量院配置一维二维栅格标准器、台阶高度样板等多种计量标准器后，将初步建立并进一步完善本地区的纳米几何特征参量量值溯源体系。
 

　　我国在纳米技术领域的科学技术研究位居国际前列，纳米技术相关产业正处在快速发展上升时期。市计量院长度计量技术研究部主要负责同志表示，将深入学习贯彻党的二十届三中全会精神，立足检测市场需求，持续强化创新力度，不断推动计量事业实现高质量发展。同时，欢迎全国各方计量同仁来电咨询，洽谈合作事宜。